ハード(クロム)マスク種類・仕様
種類
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特徴
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用途 |
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ハード(クロム)マスク
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石英
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青板
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仕様
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規格 |
ハード(クロム)マスク
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基材仕様 | 材質 | 石英 | 青板 | ||
種類 |
小判 |
大判 |
小判 |
大判 |
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温度膨張係数(/℃) | 5 × 10-7 | 85 × 10-7 | |||
透過率(365nm) | 90% 以上 | 80% 以上 | |||
膜仕様 | 膜材質 | 金属クロム膜(スパッタ膜) | |||
膜厚(Å) | 1,000 ~ 1,250 | ||||
マスク濃度(D) | 3.0 以上 | ||||
製造規格 | 外形サイズ(inch) | ~7 × 7 | ~28 × 32 | ~7 × 7 | ~28 × 32 |
有効サイズ(mm) | 165 × 165 | 700 × 800 | 165 × 165 | 700 × 800 | |
最小線幅(μm) | 1~3(*) | 3 ~ 10 | 1~3(*) | 3 ~ 10 |