ハード(クロム)マスクは、保護膜 TOP'S-r(防汚対策) を選択できます。

種類

種類	特徴	用途
ハード(クロム)マスク	石英 高耐久性 低熱膨張(青板1/10以下) 高透過率	高密度パッケージ 高精細電子部品板パターン
	青板 高耐久性 低熱膨張	高密度パッケージ タッチパネル フレキシブル配線 高精細電子部品板パターン

仕様

仕様	規格	ハード(クロム)マスク
基材仕様	材質	石英		青板
	種類	小判	大判	小判	大判
	温度膨張係数(/℃)	5 × 10-7		85 × 10-7
	透過率(365nm)	90% 以上		80% 以上
膜仕様	膜材質	金属クロム膜(スパッタ膜)
	膜厚(Å)	1,000 ～ 1,250
	マスク濃度(D)	3.0 以上
製造規格	外形サイズ(inch)	～7 × 7	～28 × 32	～7 × 7	～28 × 32
	有効サイズ(mm)	165 × 165	700 × 800	165 × 165	700 × 800
	最小線幅(μm)	1～3(*)	3 ～ 10	1～3(*)	3 ～ 10

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