エマルジョンマスクの種類と仕様
種類
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特徴
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用途 |
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エマルジョン
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仕様
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規格 |
エマルジョンガラスマスク
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エマルジョンフィルムマスク
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基材仕様 | 材質 | ソーダライムガラス(青板) | PET |
温度膨張係数(/℃) | 85×10-7 | 20 × 10-6 | |
湿度膨張係数(/%RH) | - | 24 × 10-5 | |
透過率 | 80%以上(365nm) | 89%(400nm) | |
膜仕様 | 膜材質 | 写真乳剤 | |
膜厚(μm) | 5~6 | 4~7 | |
マスク濃度(D) | 4.0 以上 | ||
製造規格 | 外形サイズ(inch) | ~28 × 32 | |
有効サイズ(mm) | 700 × 800 | ||
最小線幅(μm) | 15(*) | 20 |