メタルマスク
種類 | イメージ | 特長 |
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スーパーファイン処理 |
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ハーフエッチング処理 |
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製造規格 |
ガラスエッチング
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外形サイズ(inch) | ~28 × 32 |
有効サイズ(mm) | 700 × 800 |
最小線幅(μm) | Line/Space 25~(版深10μm時) |
線幅精度(μm) | ±2 |
版深(μm) | ~20 |
長寸法精度(μm) | ±5 ~ 10 / 500mm |